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超聲波氣氛加熱勻膠機是一款直徑300mm、靈活的旋轉勻膠設備，可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內布有加熱元件，可在勻膠后進行烤膠操作。產品帶有兩路浮子流量計控制的氣路，可將惰性氣體通入腔體內，在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。 此款勻膠機適用于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆?？蓜蚰zzui大圓晶尺寸為12英寸，轉速可達3000rpm，加速度可達2000rpm；具有轉速穩定，啟動迅速，操作方便等優點，并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性，是一款性能優良的產品.
加熱勻膠機產品特征：
1. 采用直流無刷電機，單片機控制
2. 高清晰觸摸屏控制
3. 可進行單步多步勻膠操作，可存儲五種程序，每種程序可設置五步操作
4. 防堵膠設計
5. 鋁合金腔體，堅固耐用
6. 帶有超聲波，氣氛，加熱等多種輔助功能，為勻膠研究進行多種輔助
超聲波氣氛加熱勻膠機產品參數：
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產品名稱 |
超聲波輔助氣氛勻膠機 |
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圓晶尺寸 |
12英寸 |
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旋轉速度 |
30~3000rpm可調 |
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旋轉加速度 |
30~2000rpm/s可調 |
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單次zui長勻膠時間 |
3000s |
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勻膠腔體尺寸 |
φ390mm*90mm |
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電壓 |
220V 50Hz |
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功率 |
1.5KW |
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加熱溫度 |
0-100℃ |
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質保時間 |
易損件除外，1年，終身技術支持 |
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勻膠機真空吸盤 |
12寸 一個（標配）；6寸 一個（定制） |
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勻膠機定制純機械卡盤 |
12英寸 一個（額外定制）；6英寸 一個（額外定制） |
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無油真空泵 |
型號：AP-2000V 功率：0.55kw zui低真空度：-700mmHg；-92Kpa zui大空氣流量：200L/min；12M3/h 重量：10kg |
超聲波系統
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霧化頭材質 |
鈦合金 |
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頻率 |
50kHz |
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功率 |
30W |
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流量 |
0.55mL/s |
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微粒直徑 |
25um |
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霧化頭類型 |
錐型 |
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霧化頭重量 |
0.3kg |
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超聲波電源尺寸 |
315*312*135mm |
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超聲波電源重量 |
5kg |
注射泵
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流量范圍 |
0.001uL/min-43.349mL/min |
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掉電記憶工能 |
保存設置參數，重新上電后，無需設置 |
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適用進樣器規格 |
10uL-1000uL |
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適用注射器規格 |
1mL-60mL |
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加熱溫度 |
0-100℃ |
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線速度范圍 |
5um/min-65um/min |
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線速度調節分辨率 |
5um/min |
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zui大行程 |
140mm |
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行程分辨率 |
0.156um |
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額定線性推力 |
＞90N |
流量計
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控制氣體種類 |
2種 |
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氣體流速 |
16-160mL/min |
