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                  產品詳情
                  • 產品名稱:PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備

                  • 產品型號:CY-PECVD-R
                  • 產品廠商:成越科儀
                  • 產品文檔:
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                  簡單介紹:
                  本產品為PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備。PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。
                  詳情介紹:

                  旋轉PECVD 

                  本產品為等離子增強回轉化學氣相沉積系統(旋轉PECVD),爐管采用變徑設計,中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合,通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;設備另配有等離子發生裝置,采用電感耦合與爐管連接,產生的等離子能夠滿布爐管,有效的提高反應物活化能,降低反應溫度,提高反應效率。設備配有三路質量流量計及混氣裝置,可用于向路管內通入多種氣體,同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

                  技術參數

                  雙溫區管式爐

                  產品型號

                  CY-O1200-60IIC-R

                  設備功率

                  3KW

                  爐管材質

                  高純石英

                  爐管尺寸

                  Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)

                  爐膛長度

                  440mm

                  加熱區長

                  200mm+200mm

                  工作溫度

                  0~1150℃

                  極限溫度

                  1200℃

                  控溫精度

                  ±1℃

                  熱電偶類型

                  K型熱電偶

                  控溫模式

                  30段程序控溫,PID參數自整定

                  顯示模式

                  高清全彩LCD觸控屏

                  密封方式

                  304不銹鋼真空法蘭

                  供電電源

                  AC:220V 50/60Hz  

                  旋轉速度

                  0~13rpm

                  傾斜角度

                  0~35°

                  3路質量流量計

                  產品型號

                  CY-3Z

                  氣路數量

                  3路

                  流量計類型

                  質量流量計

                  測量范圍

                  A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

                  測量精度

                  ±1.5%

                  工作壓差

                  0.1~0.5MPa

                  管路接口

                  1/4英寸卡套接頭

                  供電

                  AC220V 50/60Hz

                  真空系統

                  真空泵

                  雙極旋片泵

                  抽速

                  1.1L/s

                  抽氣接口

                  KF16

                  泵極限真空度

                  10E-1Pa

                  供電

                  AC220V 50/60Hz

                  射頻電源

                  信號頻率

                  13.56MHz±0.005%

                  功率輸出范圍

                  0~500W

                  *大反射功率

                  100W

                  射頻輸出接口

                  50Ω,N-Type,female

                  功率穩定度

                  ≤5W


                  豫公網安備 41019702002438號

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