旋轉勻膠機應用

日期：2023-01-30 01:11

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摘要：

旋轉勻膠機應用
　　旋轉勻膠機是一種用于工程與技術科學基礎學科領域的計量儀器，于2014年12月12日啟用。

技術指標

　　旋轉勻膠機可以自動定量滴加光刻膠（支持的光刻膠年度在10cp-500cp）,也可以實驗手動滴加光刻膠；勻膠的時間可以在0.1s到999s范圍內調整且連續；滿足旋涂3mm到150mm直徑范圍的樣品；穩定的轉速范圍可在50轉/分到8000轉/分，加速范圍從50rpm/s到4000rpm/s;膜厚的均勻性在2%（Resist AZ5214E，1um）。

主要功能

　　旋轉勻膠機常用于各種溶膠凝膠實驗中的薄膜制作，需要旋涂的基片和的旋涂膠液間的粘滯系數不同，厚度也會有所不同，同時旋涂的時間和轉速也會對厚度有不同的影響。

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